，*缺點就是造價較高。

羥基部分

，可能半導(dǎo)體行業(yè)的用戶普遍不是非常重視，這部分我也想詳細的介紹介紹。由于將石英砂加工成玻璃體的工藝不太相同，羥基含量懸殊非常的大，半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用最多的氣煉法取得的石英材料，往往會存在150-300ppm的羥基，羥基含量對于石英材料的影響主要來自兩個方面。

首先

，高羥基材料中的羥基在高溫環(huán)境中會形成羥基團

，有效的將半導(dǎo)體工藝中危害較大的堿金屬包裹起來

，阻止其污染晶圓

。

另一個方面，羥基因為改變了sio2的鍵合結(jié)構(gòu)

，降低了材料的熱穩(wěn)定性，造成石英制品的耐溫性能大幅降低，通常羥基含量超過200ppm的石英材料，1050攝氏度即開始軟化變形，低于低羥基產(chǎn)品100余攝氏度。氣煉法制取的石英材料，也可以通過真空電阻爐加熱的方式進行脫羥，比如GE即可通過脫羥工藝將產(chǎn)品中羥基含量降低到1ppm以下。

個人意見，如果是低溫區(qū)間的半導(dǎo)體工藝

，可以無視羥基的存在，但是，高溫半導(dǎo)體工藝（1000攝氏度以上）應(yīng)該考慮羥基對于材料造成的實際影響，應(yīng)該選擇經(jīng)過脫羥處理的材料來使用。也可以選擇氣煉法以外的加工工藝制取的石英材料。

參考石英制品的行業(yè)標準